核心优势:
1.不含 Na⁺、K⁺、Ca²⁺等金属杂质,半导体、分子筛、医药合成无金属污染;
2.兼具亲油亲水,是高效相转移催化剂;
3.碱性温和可控,对硅基底腐蚀选择性强,不会过度蚀刻晶圆;
4.分解产物易挥发,无无机盐残留
应用领域:
1. 半导体 / 显示行业(最大高端需求)
超净高纯电子级 TEAOH 是光刻核心湿电子化学品:
光刻胶显影液:溶解曝光后正性光刻胶,精准形成微米 / 纳米电路图案,
28nm 及成熟制程标配;
晶圆清洗 / 光刻胶剥离:去除硅片表面有机残留、光刻胶残渣;
硅选择性微蚀刻:用于 CIS 图像传感器、FinFET 结构精细刻蚀;
LCD/OLED 面板:聚酰亚胺取向膜制备,促进酰亚胺化,形成均匀液晶取向层。
2. 分子筛 / 催化材料合成
专用模板剂(结构导向剂):制备 SSZ-13、SAPO-34、ZSM 系列沸石分子筛,用于汽车尾气脱硝、甲醇制烯烃催化剂载体,调控分子筛孔径结构。